透射電鏡液體電化學(xué)原位系統(tǒng)是一種集成了透射電鏡(TEM)技術(shù)與液體電化學(xué)測試環(huán)境的設(shè)備。
本公司提供的透射電鏡液體電化學(xué)原位系統(tǒng)的技術(shù)有：
1、采用納流控技術(shù)，通過壓電微控系統(tǒng)進行流體微分控制，實現(xiàn)納升級微量流體輸送，原位納流控系統(tǒng)及樣品桿中冗余的液體量僅有微升級別，有效保證電鏡安全。
2、采用高分子膜面接觸密封技術(shù)，相比于o圈密封，增大了密封接觸面積，有效減小滲漏風(fēng)險。
3、采用超高溫鍍膜技術(shù)，芯片視窗區(qū)域的氮化硅膜具有耐高溫低應(yīng)力耐壓耐腐蝕耐輻照等優(yōu)點。
4、多場耦合技術(shù)，可在液相環(huán)境中實現(xiàn)光、電、熱、流體多場耦合。
該系統(tǒng)的芯片封裝采用鍵合內(nèi)封以及環(huán)氧樹脂外封雙保險方式，使芯片間的夾層最薄僅約100~200nm，超薄夾層大幅減少對電子束的干擾，可清晰觀察樣品的原子排列情況，液相環(huán)境可實現(xiàn)原子級分辨。
